盛美半導(dǎo)體設(shè)備上海臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項(xiàng)目正式啟動(dòng)

近日，臨港新片區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域不斷傳來(lái)好消息。昨天，盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司位于臨港新片區(qū)的上海臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項(xiàng)目正式啟動(dòng)。12月28日，積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線(xiàn)首臺(tái)光刻設(shè)備搬入臨港工廠，標(biāo)志著積塔半導(dǎo)體從建設(shè)期向生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)期邁出重要一步，為2020年底實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)打下基礎(chǔ)。

圖說(shuō)：盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司正式啟動(dòng)臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項(xiàng)目。主辦方供圖

盛美公司是首家赴美上市的中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備公司，致力于為集成電路制造業(yè)提供先進(jìn)的晶圓清洗和濕法加工設(shè)備，形成了以清洗機(jī)、電鍍機(jī)和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備為主的產(chǎn)品線(xiàn)。此次啟動(dòng)的臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項(xiàng)目由盛美上海公司在臨港的全資子公司運(yùn)營(yíng)，該項(xiàng)目已納入盛美全球化發(fā)展的整體布局，將建設(shè)成為盛美全球主要研發(fā)及生產(chǎn)基地。

上海積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線(xiàn)項(xiàng)目是上海市重大工程，總投資359億元。該項(xiàng)目位于臨港裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)，占地面積23萬(wàn)平方米，建成投產(chǎn)后，將進(jìn)一步幫助完善臨港與上海打造集成電路產(chǎn)業(yè)高地布局，發(fā)揮產(chǎn)業(yè)集聚效應(yīng)，加快建設(shè)具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的綜合性產(chǎn)業(yè)集群。

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